[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-4] リング型ＰＺＴ電極を用いたＭＥＭＳ共振センサの製作

〇高橋 一浩^{1, 2}、石田 誠¹、澤田 和明^{1, 2} (1.豊橋技科大, 2.JST-CREST)

キーワード：MEMS共振器、PZT、バイオセンサ