2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 14:00 〜 17:30 A29 (6A-204)

15:15 〜 15:30

[11p-A29-6] Optical Response of Micromechanical Infrared Thermal Detector

〇(PC)Jonghyeon Jeong1, Shinya Kumagai1, 3, Ichiro Yamashita2, 3, Yukiharu Uraoka2, 3, Minoru Sasaki1, 3 (1.Toyota Technological Institute, 2.Nara Institute of Science and Technology, 3.CREST JST)

キーワード：MEMS,infrared,sensor