[11p-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11p-A29-9] 容量計測型呼吸センサのための衣服組み込み電極

寺澤 槙恵¹、熊谷 慎也¹、〇佐々木 実¹ (1.豊田工大)

キーワード：呼吸センサ、ウェアラブルデバイス、容量計測