[11p-B1-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-B1-1] UHVスパッタエピタキシー法によるAlInN層の成長

〇(M1)神田 赳志¹、多田 暁由¹、小橋 勇希¹、福井 迪¹、水野 愛¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：AlInN、スパッタ