[11p-B1-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-B1-2] スパッタ法AlNテンプレート基板を用いたAlNのHVPE成長

〇安井 大貴¹、三宅 秀人¹、平松 和政¹、岩谷 素顕²、赤崎 勇²、天野 浩³ (1.三重大院工, 2.名城大学, 3.名古屋大学)

キーワード：窒化アルミニウム