[11p-B1-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [11p-B1-20] m面Al_1-xIn_xN薄膜の分光エリプソメトリーによる評価

〇(B)加賀谷 大樹¹、山崎 芳樹¹、池田 宏隆²、藤戸 健史²、小島 一信¹、秩父 重英¹ (1.東北大多元研, 2.三菱化学(株))

キーワード：AlInN、分光エリプソメトリー