2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[11p-B1-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月11日(水) 13:15 〜 18:45 B1 (6B-101)

14:30 〜 14:45

[11p-B1-6] ハイドライド気相成長法を用いた両面成長によるGaNテンプレートの反り低減

〇山本 健志1、井原 洋1、山根 啓輔2、岡田 成仁1、只友 一行1 (1.山口大院理工, 2.豊橋技術科学大)

キーワード:ガリウムナイトライド、ハイドライド気相成長法、反り