[11p-B5-1~9] 最先端CMOS技術とその将来展望

[11p-B5-8] 次世代High-k メタルゲートプロセス

〇吉田 尚美¹、アダム ブランド¹ (1.アプライドマテリアルズ)

キーワード：メタルゲート、High-k、FinFET