[11p-C1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[11p-C1-1] プラズマCVDを用いたダイヤモンド単結晶成長における基板温度変化と窒素添加効果

〇山田 英明¹、茶谷原 昭義¹、杢野 由明¹ (1.産総研)

キーワード：ダイヤモンド