[11p-C1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[11p-C1-17] イオン注入によるCVDダイアモンド膜へのSiVセンターの導入

〇小副川 裕太¹、中尾 基¹、坪田 敏樹¹、長町 信治² (1.九州工業大学, 2.株式会社長町サイエンスラボ)

キーワード：ダイヤモンド膜、カラーセンター