[11p-C1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

△ [11p-C1-3] X線回折法を用いたボロンドープ超伝導ダイヤモンド薄膜の臨界膜厚評価

〇(B)柴田 将暢¹、蔭浦 泰資¹、山口 尚秀²、高野 義彦²、川原田 洋¹ (1.早大理工, 2.物材機構)

キーワード：ダイヤモンド、超伝導、臨界膜厚