2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[11p-C1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

2015年3月11日(水) 13:15 〜 18:00 C1 (6C-104)

14:00 〜 14:15

[11p-C1-4] 高濃度リンドープn型ダイヤモンド薄膜の評価

〇(PC)大谷 亮太1、山本 卓1、小泉 聡1 (1.物材機構)

キーワード：CVD、ダイヤモンド、ドーピング