[11p-C1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[11p-C1-8] ダイヤモンド/立方晶窒化ホウ素(c-BN)薄膜ヘテロ構造成長

〇平間 一行¹、谷保 芳孝¹、狩元 慎一¹、山本 秀樹¹ (1.NTT物性研)

キーワード：ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、イオンビームアシストMBE