PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 14:45 〜 15:00 △ [11p-C2-4] 金属Alの熱酸化で形成したAlOx/Si界面状態および固定電荷密度 〇(D)池野 成裕1, 3、山下 祥弘1、勝又 隆晶1, 2, 4、知京 豊裕2、小椋 厚志1, 4 (1.明治大学, 2.物材機構, 3.学振特別研究員DC, 4.JST-CREST) キーワード:表面パッシベーション