[11p-D10-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[11p-D10-17] 有機金属熱分解（MOD）法によるLaMnO₃薄膜の作製とその電気伝導特性

〇祐本 美久¹、牧野 壱¹、小堀 裕己¹、山崎 篤志¹、谷口 年史²、清水 哲夫³ (1.甲南大理工, 2.阪大院理, 3.産総研)

キーワード：有機金属熱分解法、薄膜、ランタンマンガン酸化物