[11p-D12-1~15] 1.7 超音波

[11p-D12-13] ゾルゲルSiOx膜を用いたボールSAW微量水分センサの低ガス流量における感度

〇辻 俊宏¹、渡邊 圭¹、東出 祐介¹、大泉 透¹、竹田 宣生¹、赤尾 慎吾¹、塚原 祐輔¹、山中 一司¹ (1.東北大)

キーワード：弾性表面波センサ、微量水分、非晶質シリカ