2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

1 応用物理学一般 » 1.7 超音波

[11p-D12-1~15] 1.7 超音波

2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:15 D12 (16-501)

16:30 〜 16:45

[11p-D12-13] ゾルゲルSiOx膜を用いたボールSAW微量水分センサの低ガス流量における感度

〇辻 俊宏1、渡邊 圭1、東出 祐介1、大泉 透1、竹田 宣生1、赤尾 慎吾1、塚原 祐輔1、山中 一司1 (1.東北大)

キーワード:弾性表面波センサ、微量水分、非晶質シリカ