2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[11p-D13-1~13] 1.3 新技術・複合新領域

2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:00 D13 (16-502)

13:15 〜 13:45

[11p-D13-1] [応用物理学一般 分科内招待講演] MOD法により製作したVOxマイクロボロメータ素子の検出特性

〇内田 貴司1、立木 隆1 (1.防衛大電気電子)

キーワード:有機金属分解法、酸化バナジウム、ボロメータ検出素子