[11p-D13-1~13] 1.3 新技術・複合新領域

[11p-D13-6] トップダウン・ボトムアップ統合アプローチによるポリスチレン四重極子の作製

〇高橋 毅¹、松谷 晃宏²、庄司 大²、西岡 國生²、佐藤 美那²、磯部 敏宏¹、中島 章¹、松下 祥子¹ (1.東工大院理工, 2.東工大半導体MEMS)

キーワード：自己集積、リソグラフィー、球状微粒子