2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 斜め蒸着法,GLAD,STF等,シャドウイングによるナノ形態の制御と評価

[11p-D9-1~7] 斜め蒸着法,GLAD,STF等,シャドウイングによるナノ形態の制御と評価

2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:00 D9 (16-304)

13:15 〜 14:00

[11p-D9-1] シャドウイングによるナノ形態制御技術の進展と課題

〇鈴木 基史1 (1.京大院・工)

キーワード:物理的自己集積化、シャドウイング、斜め蒸着