[11p-D9-1~7] 斜め蒸着法，GLAD，STF等，シャドウイングによるナノ形態の制御と評価

[11p-D9-1] シャドウイングによるナノ形態制御技術の進展と課題

〇鈴木 基史¹ (1.京大院・工)

キーワード：物理的自己集積化、シャドウイング、斜め蒸着