[11p-D9-1~7] 斜め蒸着法，GLAD，STF等，シャドウイングによるナノ形態の制御と評価

[11p-D9-3] 雰囲気ガスによる表面拡散の制御法の開発と明瞭なAgナノコラム形成への応用

〇伊東 孝将¹、中嶋 薫¹、木村 健二¹、鈴木 基史¹ (1.京大院工)

キーワード：斜め蒸着、表面拡散、雰囲気ガス