[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-13] 部分的アモルファス化によるSiC/金属オーミック抵抗の低減とそのメカニズム

〇(M2)ミランタ デシルワ¹、黒木 伸一郎¹、石川 誠治^{1, 2}、前田 知徳^{1, 2}、瀬崎 洋^{1, 2}、吉川 公麿¹ (1.広大　RNBS, 2.フェニテック)

キーワード：SiC、オーミック