[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-4] 自然酸化膜付Si基板上へのモノメチルシランを用いたSiC薄膜高速成長（Ⅱ）

〇山田 晋平¹、成田 克¹、中島 健介¹、内藤 正路²、末光 眞希³ (1.山形大工, 2.九工大院生命体工, 3.東北大通研)

キーワード：炭化ケイ素