2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[11p-P4-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

2015年3月11日(水) 16:00 〜 18:00 P4 (総合体育館)

16:00 〜 18:00

[11p-P4-2] RFマグネトロンスパッタ法による(100)BiFeO3/(100)LaNiO3ヘテロ構造の作製

〇堂安 豪1、苅谷 健人1、荒牧 正明1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)

キーワード：BiFeO3、MEMS