[11p-P4-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[11p-P4-9] PZT薄膜の縦方向圧電定数d_33,fと横方向圧電定数d₃₁の比較

〇牧本 なつみ¹、竹下 俊弘²、前田 龍太郎¹、小林 健¹ (1.産総研, 2.九州大)

キーワード：PZT薄膜、圧電定数