[11p-P6-1~24] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[11p-P6-11] a-Si：Hパッシベーション膜の高品質化プロセスの検討

〇山本 翔太¹、岡田 祐希¹、三和 寛之¹、西田 哲¹、松木 伸行¹、牟田 浩司¹、栗林 志頭眞¹ (1.岐阜大学院工)

キーワード：パッシベーション膜