[11p-P6-1~24] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[11p-P6-15] フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜のa-Si膜による表面パッシベーションの効果

〇野澤 尚樹¹、渡邊 大貴¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：フラッシュランプアニール、多結晶Si