[12a-A13-1~10] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[12a-A13-4] 光導波型マイクロホンにおけるダンピング効果の考察

〇老川 仁志¹、大河 正志²、佐藤 孝² (1.新潟大学大学院, 2.新潟大学)

キーワード：ダンピング、MEMS