[12a-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[12a-A16-1] 狭間隔スロットリング共振器型MEMS光学素子の検討

〇雨宮 嘉照¹、岡田 一也¹、本澤 圭太¹、野田 和希¹、千日 拓馬¹、福山 正隆¹、横山 新¹ (1.広島大)

キーワード：スロットリング共振器