[12a-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[12a-A16-10] Si光変調器に向けた歪SiGe成長に関する検討

〇野口 将高¹、韓 在勲²、藤方 潤一¹、中村 隆宏¹、竹中 充² (1.PETRA, 2.東大)

キーワード：光変調器