[12a-A16-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[12a-A16-6] Siフォトニック結晶変調器のドーピング分布最適化による変調速度向上

〇竹内 萌江¹、寺田 陽祐¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：Si変調器、フォトニック結晶導波路