PDF ダウンロード スケジュール 5 いいね! 0 10:15 〜 10:30 [12a-A18-6] 切断ワイヤの摩耗と単結晶シリコンウエハの破壊強度 〇小野 裕道1、本田 和夫1、福田 哲生2、鈴木 信隆2、白澤 勝彦2、高遠 秀尚2 (1.福島県ハイテクプラザ, 2.(独)産総研福島再生可能エネルギー研究所) キーワード:破壊強度、単結晶シリコンウエハ