[12a-A18-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[12a-A18-7] Ne雰囲気スパッタSi膜(500 nm厚)への青色レーザによる結晶化

〇具志堅 貴也¹、若杉 智英¹、岡田 竜弥¹、野口 隆¹、河本 直哉² (1.琉球大学, 2.山口大学)

キーワード：結晶化、BLDA、シリコン系太陽電池