[12a-A20-1~10] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[12a-A20-6] ナノワイヤFET作製におけるインクジェットプリンタとマニピュレータを用いたナノワイヤ転写精度の改善

〇佐々木 智¹、舘野 功太¹、章 国強¹、原田 裕一¹、齊藤 志郎¹、藤原 聡¹、村木 康二¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：ナノワイヤ、電界効果トランジスタ、インクジェットプリンタ