[12a-A21-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [12a-A21-11] 放射光光電子分光法によるn-GaN上Al/Tiコンタクトの界面反応分析

〇伊藤 丈予¹、淺原 亮平¹、野崎 幹人¹、中澤 敏志²、石田 昌宏²、上田 哲三²、吉越 章隆³、寺岡 有殿³、細井 卓治¹、志村 考功¹、渡部 平司¹ (1.阪大院工, 2.パナソニック, 3.原子力機構)

キーワード：窒化ガリウム、オーミックコンタクト、放射光