[12a-A21-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[12a-A21-9] 走査型非線形誘電率顕微鏡によるAlGaN/GaN構造の2次元電子ガス及び分極の評価

〇廣瀬 光太郎¹、茅根 慎通¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：走査型非線形誘電率顕微鏡、高電子移動度トランジスタ、2次元電子ガス