[12a-A27-1~9] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A27-1] Si表面平坦化の熱処理雰囲気依存性

〇工藤 聡也¹、Atthi Nithi¹、大見 俊一郎¹ (1.東工大)

キーワード：表面平坦化プロセス、シリコン、デバイス特性