[12a-A27-1~9] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A27-3] Cuアシスト無電解エッチングによるSiナノワイヤの作製と評価

〇高橋 翔平¹、安達 定雄¹ (1.群馬大学)

キーワード：銅、ナノ構造