[12a-A27-1~9] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A27-7] SSRMによる不純物揺らぎ測定の検討

〇松沢 一也¹、板井 翔吾¹、小野 瑞城¹、石原 貴光¹、張 利¹ (1.東芝研究開発センター)

キーワード：走査型広がり抵抗顕微鏡法、不純物ゆらぎ、ショットキー