2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.1 基礎物性・評価

[12a-A28-1~12] 16.1 基礎物性・評価

2015年3月12日(木) 09:15 〜 12:30 A28 (6A-203)

10:30 〜 10:45

[12a-A28-6] 反射CPM法を用いた非晶質酸化物半導体薄膜トランジスタの特性不安定性解析

〇竹山 裕貴1、大野 祐樹1、清水 耕作1 (1.日大)

キーワード：非晶質、半導体、酸化物