[12a-A28-1~12] 16.1 基礎物性・評価

[12a-A28-7] 原子状水素供給スパッタ法による非晶質シリコン膜の作製と 変調アドミタンス法によるp-i/i-n界面の評価

〇大江 和顕¹、岩崎 真宝¹、清水 耕作¹ (1.日本大生産)

キーワード：シリコン、界面