[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-2] 脱水素無しのアモルファスSi薄膜に対するBLDA低抵抗化

〇若杉 智英¹、安次富 卓哉¹、岡田 竜弥¹、野口 隆¹、西方 靖²、太田 淳²、井上 和久³、山田 一雄³ (1.琉球大工, 2.（株）アルバック, 3.プロダクトサポート社)

キーワード：低抵抗化、結晶性、薄膜トランジスタ