[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-3] マイクロ熱プラズマジェット照射によるSi結晶成長の初期膜依存性

〇林 将平^{1, 2}、森崎 誠司¹、山本 将悟¹、中谷 太一¹、新 良太¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研, 2.学振特別研究員PD)

キーワード：結晶化、熱プラズマジェット、結晶成長