[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-4] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化によるa-Siパターン内結晶成長のその場観察

〇(D)森崎 誠司¹、林 将平¹、山本 将悟¹、中谷 太一¹、笠原 拓也¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：薄膜トランジスタ、熱プラズマジェット、結晶化