[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-6] 非晶質C12A7 エレクトライド/結晶Si の接合とI-V 特性

〇渡邉 俊成¹、小穴 保久²、戸田 喜丈³、宮川 直通¹、古田 薫²、雲見 日出也³、細野 秀雄³ (1.旭硝子, 2.LG Display, 3.東工大)

キーワード：エレクトライド、シリコン、ダイオード