[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-8] パネル上高感度フォトセンサ応用へのBLDAによる多層膜構造Si膜の結晶性向上

Nakao Kota¹、〇(M2)Koswaththage Charith Jayanada¹、Wakasugi Tomohide¹、Okada Tatsuya¹、Noguchi Takashi¹ (1.琉球大学)

キーワード：光センサー、BLDA、結晶化