[12a-B1-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-B1-1] THzエリプソメトリーによるGaN単結晶の評価

〇達 紘平¹、藤井 高志^{1, 3}、荒木 努¹、名西 憓之¹、長島 健²、岩本 敏志³、佐藤 幸徳³、森田 直威⁴、杉江 隆一⁴、上山 智⁵ (1.立命館大, 2.摂南大, 3.日邦プレシジョン, 4.東レリサーチセンター, 5.名城大)

キーワード：テラヘルツ、エリプソメトリー、GaN