[12a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[12a-B4-1] 4H-SiC溶液成長におけるSiCrAl溶媒へのSn微量添加効果

〇小松 直佳¹、三谷 武志^{1, 2}、高橋 徹夫^{1, 2}、加藤 智久^{1, 2}、宇治原 徹³、松本 祐司⁴、蔵重 和央^{1, 5}、奥村 元^{1, 2} (1.FUPET, 2.AIST, 3.名古屋大学, 4.東北大学, 5.日立化成)

キーワード：溶液成長、添加物、表面モフォロジー