[12a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[12a-B4-7] 4H-SiC表面再結合速度における温度依存性の解析

〇(B)小濱 公洋¹、森 祐人¹、加藤 正史¹、市村 正也¹ (1.名工大)

キーワード：SiC