[12a-D1-1~12] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [12a-D1-10] 水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(4)：遷移金属不純物に関する考察

〇(B)岩橋 咲弥¹、山崎 芳樹¹、小島 一信¹、古澤 健太郎¹、上殿 明良²、秩父 重英¹ (1.東北大多元研, 2.筑波大物理工)

キーワード：酸化亜鉛、遷移金属