[12a-D1-1~12] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[12a-D1-5] c面サファイア上V添加ZnO極薄膜配向性の成膜温度依存性

〇渡部 晃弘¹、千葉 博²、川島 知之^{1, 2}、鷲尾 勝由^{1, 2} (1.東北大工, 2.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、バナジウム、単結晶